技術參數：

X 軸 (驅動部)
測量范圍: 100mm

分辨率： 0.05μm

長度基準： 線性編碼器
驅動速度: 0-40mm/s

測量速度： 0.02-5mm/s
移動方向: 向后

直線度： 0.15μm/100mm

Z2軸（立柱）

類型： 手動操作或電動

垂直移動： 350mm或550mm*

分辨率*： 1μm

檢測方法*： 旋轉編碼器

驅動速度*： 0-20mm/s

*僅適于電驅動型
檢測器
范圍/分辨率: 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm
檢測方法: 無軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN
測針針尖: 金剛石, 90o / 5μmR(60o / 2μmR)
導頭曲率半徑: 40mm
導頭壓力: 小于 400mN
類型: 差動電感式
尺寸(DxH)

主機（DxH）： 716 x 450 x 863 mm

花崗巖基座（D）：600 x 450 mm
重量
控制器: 4kg
主機： 140kg

評估能力：

適用標準:
JIS' 82, JIS' 94, JIS' 01, ISO, ANSI, VDA
評估輪廓:
P (原始輪廓), R (表面粗糙度曲線), DIN4776, 粗糙度曲線motif
評價參數:
Ra, Ry, Rz, Rt, Rp, Rq, Rv, Sm, S, Pc, R3z, mr (c), Rpk, Rvk,δc, Rk, Mr1, Mr2,

Lo, Ppi, R, AR, Rx, A1, A2, Vo, HSC, mr,SK, Ku, Δa, Δq, Wte, , W, AW (可定制)

Rz1max (ISO),Rmax (VDA, ANSI)
分析圖表: ADC、BAC、功率譜圖
評價曲線 斷面曲線、粗糙度曲線、DF曲線、波紋曲線表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲線

解析圖表 負荷曲線、振幅分布曲線

曲線補償 拋物線、雙曲線、圓錐、圓、二次曲線、傾斜補償、無補償
濾波類型 2CR, PC75, 高斯
截止波長 lc:0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm
ls: 0.25,0.8,2.5, 8, 25,80,250μm 無濾波器

lf:0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm 無濾波器

取樣長度: 0.025,0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm;